检测内容:chipping、凸边等
破损检测规格:缺陷尺寸大于0.1mm可检出
呈像方式:亮场反射式
异物检测规格:0.1mm以上可检出
过检率:≤3%(过检NG/总投入)
AOI NG处理方式:NG品通过NG传送至缓存机构
AOI信息上传:AOI具备不良标示功能并将检测信息上传CIM
设备功能:自动检测、自动判定功能
检测内容:边缘贝壳、破损等缺陷
破损检测检测精度:±0. 05mm
重复检测精度:同一个片产品连续检十次,重复能检出同一个不良
过检率:≤3%(过检NG/总投入)
AOI NG处理方式:NG品通过NG传送至缓存机构
其他功能:分白班、晚班,日产统计到31天,具有统计功能
检测内容:玻璃边缘异常的检验(凹点、凸点、裂纹)
破损检测规格:裂纹长度大于0.05mm可检出
检出率:overkill≤2% (能识别脏污,避免脏污导致Overlill)
AOI NG处理方式:NG品通过NG传送至缓存机构
AOI信息上传:AOI具备不良标示功能并将检测信息上传CIM
拍摄功能:可以清楚拍摄出Panel端子及Panel ID
其他功能:分白班、晚班,日产统计到31天,具有统计功能
检测内容:① 镭射路径偏移量 ② 镭射路径宽度 ③ 镭射区未镭断检出
④ 镭射区脏污检出 ⑤ 镭射区裂纹、贝壳状检出
测量点数:≤9段
检测精度:2-3um
照明方式:正面
换型方式:一键切换
检测内容:边崩/角崩/裂纹
检测精度:200μm
异物/残胶检测规格:0.1mm以上可检出
过检率:≤3%(过检NG/总投入)
AOI NG处理方式:NG品通过NG传送至缓存机构
AOI信息上传:AOI具备不良标示功能并将检测信息上传CIM